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知青回城搞科研[八零] 第47节

    李筠听着夸赞的话,双手丝毫没有受到影响,纹丝不动地继续勾勒线条,嘴里解释道:

    “之前就一直对电路设计感兴趣,多学了一手。”

    “原来如此,怪不得有人说曾经在张教授那边看过去,你之前应该就是跟着张教授学习吧?”

    “张老师是我们大一专业课的老师,非常乐意教授知识,我也就学了一点皮毛。”

    这个消息,秦浩和黎绵都像是第一次听到,脸上露出惊讶的表情,李筠一抬头就看到这副表情。

    “怎么了?”

    “我听说张教授不是连研究生都不带了,还去带本科生啊。”

    两人是真的羡慕,本科毕业之后读了研究生,由于历史原因前几年都待在鸟不拉屎的地方负责研究工作,这两年局势稳定之后,才从里面出来,刚进入研究所没两年,就遇到李筠这样的妖孽级人物,真的是不知道该说什么好。

    都没遇到过张教授这种级别的大牛授课,能在姜文泽教授手下做事,那也是正巧碰到了研究所缺人的好时候。

    李筠不知道两人心中的千回百转,落下最后一笔之后,对着两人喊道:

    “完成了!”

    说着,就把完整的图纸递到两人眼前。

    虽然秦浩刚刚还觉得他们绘制的图纸制作出来的机器费事,可当看到图样的那一眼,还是被它精妙的设计所折服,露出痴迷的眼神。

    黎绵更是激动到不能自已,小心翼翼地接过图纸,生怕自己一个不小心用力就撕坏了。

    “小筠你这不止是用眼做尺子,这美术功底也不差,看起来都不像是硬邦邦的铁疙瘩。”

    “图纸绘制好之后,我们是要交给秦师兄之前所说的朱宏治来制作吗?”

    秦浩摇摇头,解释道:“如今的变化如此大,交给他已经不能处理,我会拿着图纸去问闫师兄的。时间不早了,你们俩先去吃饭,我去找闫师兄说事,顺便一起吃饭。”

    黎绵摸摸自己饥饿到肠鸣的肚子,微微一笑,“那就麻烦你了。”

    黎绵和李筠就这样安心地去吃饭,而秦浩则是带着刚刚出炉的图纸,找到组长闫旭东。

    “咚咚咚!”

    “请进!”

    秦浩推开门,看着还在里面继续忙碌的闫旭东,忍不住提醒一句:“闫组长,该到吃午饭的时间了。”

    闻言,闫旭东转头往窗口看去,发现烈日正悬在头顶,的确是是大中午的时候。

    随后,又立马回头,看向进屋的秦浩,问道:“你这是有什么事来找我?我记得你们三个不是一直在为新的激光器在忙吗?”

    秦浩慢步走向前,从自己手里的图纸铺在闫旭东身前的桌上,介绍道:

    “这就是我们三个这些天集思广益想出来的图纸,当然闫组长也明白,最重要的还是李筠,她的脑子不知道是什么东西做的,居然可以把我们的想法完美在纸上复制下来。

    原本我们是想着时间紧任务重,就着现在成熟的激光器改动一点内部构造,但是随着讨论的越来越深入,我们发现那样的改造是完全不够的,不足以支撑后面的实验。

    因此耗费的时间有点长,现在才把图纸交上来。同时,这个激光器的制作恐怕需要专门的人员负责,无法自己动手改造。”

    闫旭东一边听着秦浩的介绍,一边仔细看着眼前精巧的图纸。

    只需一眼,就能给明白秦浩话里的意思,虽然这张图的构造比起之前要复杂不少,可也正因为是这样,这台激光器发射的电子束会更加稳定,安装的换气装置也会更加安全,形成的准分子激光自然不会差到哪里去。

    他双眼放光地看着眼前的图纸,久久没有回话。

    沉默许久之后,抬头看了一眼对面的秦浩,夸赞道:“你们三个真的很厉害,耗费一点时间不算什么,只要能够做出让人惊艳的作品就行,而且相较于其他人的任务,你们的任务更重。

    把图纸交上来之后,这边你们暂时就没有什么事情需要忙了,老师会尽快给你们安排新的任务,这台激光器也会尽快制作出来。”

    “这样我们就放心了,那我就先离开了。”

    “你先去吃饭,顺便休息一下。”

    秦浩点点头,转身离开。

    依旧端坐在椅子上的闫旭东,还在震惊地看着眼前的图纸。

    虽然秦浩没有说明,但他很明显能够看出来,虽然这台激光器经过了大改造,但是它与其他部分连接的尺寸是不变的。

    也就意味着当它制作出来之后,能够完美地与其他光刻机设备融为一体,届时cao作将会更加简便和稳定。

    能够在完成大改造的同时,也注意到这些细枝末节,很不简单。

    这个小项目的顺利完成,也算是他们与计算科技研究所合作的一个进步,对方现在可是再不停地催促。

    他感觉最近老师的白头发都多了不少,估计是烦的。

    因为合作的原因,闫旭东嘴里的休息也不过是一个下午,第二天三人就被分配了新的任务。

    李筠被分到研究半自动接近式光刻机的赵本民教授,因为姜文泽教授接触式这里人手充足,而新开发的接近式和投影式还处于正在开发的阶段,需要的人手不少,像是其他两人就被分到了投影式实验室。

    说来,她第一次来到实验室看到的就是接触式和投影式的对抗现场,就是不知道后面结果如何。

    人手是真的缺,她刚到实验室,就被赵本民教授的助手赵蔓分配到负责物镜的组别。

    可以说,除了光源之外,光刻机的研究当中,镜头就是其最核心的部分,包括物镜和曝光台。

    李筠被分到的是物镜观察,她需要一遍又一遍地观察从激光器发射而来的激光,通过矫正器、能量探测器、光束形状设置、遮光器到达掩膜台后,透过物镜在硅片上显影蚀刻制作晶圆。

    物镜可以调整光束的形状,入瞳、透过平面、出瞳,将掩膜上的电路图案调整缩小,聚焦成像在晶圆上。

    对于像差调节的要求特别高,不确定性很大,她自己都不敢说,什么时候才能调整出最合适的比例。

    唯一值得庆幸的一点就是,接近式光刻机在掩膜板与光刻胶基底层留有一个狭窄的空隙,不会没进行一次尝试就要担心掩膜被污染,只得关闭设备重新再来一次。

    负责带着李筠学习的赵蔓,看着她那熟练的动作,满意地点点头。

    终于送来的不是一个愣头青,什么都不懂的人,要知道他们团队现在的任务非常重,时间紧迫,根本没有人想要把自己的时间浪费在无意义的人和事情上。

    她看着李筠有模有样的动作说:“看你的样子也不是什么完全新手,你和于亮一起负责物镜的调试,不断找出最小比例的组合模式,有什么新变化记得全部记录下来。我那边还有其他的事情要忙,你们俩记得合作才能发挥最大的力量。”

    说完,她也不等两人回答,转身离开。

    于亮也是个只想要做事的性子,直接站到观察位,冷冷地出声道:

    “那么我先来,李筠你负责记录现在的物镜调配情况,以及晶圆显影比例。”

    “没问题。”

    李筠让开自己的位置,让于亮先行,泛着这个物镜的调配特别耗费眼神和精力,等到于亮不行了,她迅速顶上就行,没必要争一时之快。

    拿出他们放在一旁的记录册子,拿着笔记录下现在的情况。

    和他们一样组合的人还有不少,每个人负责的物镜大小、薄厚、份数都是不一样的,只为找出最合适的搭配。

    之前因为人手的问题,都是于亮自己一个人单独进行。

    刚开始于亮还有些担心多了一个人会耽误自己的进度,可很快他就看出了李筠不是一般人,在他还没有提醒的时候,就已经手速飞快,把自己想要说的数据记录在册。

    这种完美搭档一起做事就是顺心,短短几个小时,就已经达成了他之前一天的工作量。

    于此同时到来的还有他双眼发昏的晕厥感,他不甘心地揉了揉自己晕眩的双眼,摇摇头,不甘心地往下走。

    对着李筠说:“接下来你来观察,我记录。”

    “可以。”

    李筠将最后一笔记下,将册子和笔交到于亮手里,自己则是登上观察位,查看情况。

    依据自己刚刚的观察,开始调整物镜内部的透镜位置。

    于亮看到这一幕刚想提醒些什么,但很快就收回自己的手,他根据刚刚对李筠的观察,相信她不是无的放矢。

    很快,当他看见新出来的数据之后,不由自主地瞪大双眼。

    因为掩膜板与光刻胶基底层之间的空隙,他们能够避免掩膜的污染,制作时间大大缩短。

    但同时也带来了另外一个隐患,那就是空隙的存在会使得原先的缩放比例大大变低,在晶圆上的成像会变得更加模糊。

    于亮相信只要是自己的眼神没出问题的话,眼前的这个缩放比例已经达到了原先该有的水准。

    不说提高,就这样的变化就足以让其他人侧目。

    他有些惊讶地观察李筠的表情,在看到她还想要继续调整的时候,赶紧出声打断:

    “等等!这样就很好了,你先别动。”

    由于太着急,他的音量不算下,其他听到动静的人也纷纷向着两人的方向看过来。

    李筠转身看到的就是这样的画面,她有些疑惑地看着于亮说:“怎么了?”

    “你现在这个角度刚刚好,先别动,我这里还要再记录一点东西。”

    众人一起停手的动静不算小,赵蔓也很快注意到两人这边的异样,看着其他人停下手里的事情,路过的时候小声提醒道:

    “你们先别停,我去看看情况。”

    众人这才歇了看热闹的心思,继续将眼神放到自己眼前,但也有些好事的,还是阻挡不了自己的好奇心,频频侧头观察李筠那边的动静。

    赵蔓到达时,看到的就是一人站在观察位不动,一人飞速记录的场面。

    她的目光随即转移到李筠身上,疑惑地问:“你们这边是出了什么问题吗?”

    李筠摇摇头,眼神看向一旁的于亮。

    于亮没有回答两人的问题,继续在记录册上写写画画,好一会儿才停下自己的手,因为长时间高强度的使用,还情不自禁地甩甩自己的手腕。

    而后勾起嘴角,眼神当中几乎是藏不住的喜色,看着一旁的赵蔓激动地说:

    “我们…我们已经复原出原本物镜应该到达的指数,赵师姐,你看。”

    说着,就把自己手里的记录册递到赵蔓手里。

    第一秒映入眼帘的就是于亮那手粗糙的画技,把物镜的角度画得乱七八糟,她根本看不明白,果断移开视线,看向上面记录的数据。

    当她看到成像比例的时候,眼睛瞬间睁大,眼神惊喜地在李筠和于亮两人身上来回移动。

    忍不住夸赞出声道:“你们俩非常了不起,这个发现我要赶紧告诉教授,你们俩这边暂时别动,等会儿教授也要过来看。”

    说罢,带着手里得到记录册通通离开。

    其他耳朵尖的,也明白是两人这边有了新发现,赶紧放下自己手里的东西围过来看,叽叽喳喳地指着物镜的方向讨论。

    等到赵蔓带着赵本民教授来的时候,看到的就是这样一副闹哄哄的场面。

    她赶紧加大的音量喊道:“都让让!都让让!教授来了。”

    话音刚落,人群若鸟兽散,迅速给赵蔓和赵教授让出一条路,此时的李筠也早已经离开了观察位,与于亮站在一起。

    赵本民看着眼前的机器,侧头问了赵蔓一句,眼神就不断地在李筠和于亮身上游离。